Chipmetrics 垂直深孔 (VHAR1) 測試片

Chipmetrics的垂直高深寬比（VHAR1）矽測試晶片由一系列垂直高深寬比的孔洞組成。這些孔洞在整個15 × 15毫米的晶片面積上，孔徑恒定為1微米，深度為200微米。