PillarHall LHAR4 測試片片含有橫向超高深寬比測試結構（>1000），在用於 ALD 和 CVD的 薄膜表徵時，可用作測量深槽中薄膜一致性和薄膜側壁特性的工具
應用範圍
- ALD/CVD 製程的一致性分析
- 高深寬比結構側壁上薄膜特性的分析
- 電漿增強 ALD/CVD 製程開發
- ALD/ALE 製程的動力學模型仿真
- 品質控制與保證
- 不同製程性能對比
- 晶圓級一致性測量
PillarHall測試片使用流程
沉積薄膜
移除頂部膜層
測量
分析
