Chipmetrics 的測試晶圓的目的是為了讓 Chipmetrics 的測試片在晶圓級製程中更易於使用。具有測試片槽位的測試晶圓設計用於攜帶多個 15×15 毫米的測試片。可供選擇的測試晶圓尺寸有 150 毫米、200 毫米和 300 毫米。