在Chipmetrics，我們提供創新的計量測試片和測試晶圓，用於半導體製程開發及控制
PillarHall LHAR4
PillarHall LHAR4 測試片片含有橫向超高深寬比測試結構（>1000），在用於 ALD 和 CVD的 薄膜表徵時，可用作測量深槽中薄膜一致性和薄膜側壁特性的工具
Pocket wafer
Chipmetrics 的測試晶圓的目的是為了讓 Chipmetrics 的測試片在晶圓級製程中更易於使用。具有測試片槽位的測試晶圓設計用於攜帶多個 15x15 毫米的測試片。可供選擇的測試晶圓尺寸有 150 毫米、200 毫米和 300 毫米。
Chipmetrics 測量服務
Chipmetrics 測量服務提供薄膜一致性（橫向滲透深度）剖析數據。該服務的前提是在 Chipmetrics PillarHall® LHAR4 測試片上沉積可以測量的樣品薄膜。